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小光斑薄膜测量仪及反射光度计

  •        格物小光斑薄膜测量仪及反射光度计用于亚毫米尺寸器件(100 mm-500μm)表面光学反射率、薄膜厚度、及薄膜材料光学参数(n&k)的快速测量。可以在 0.1秒内同时获取单层薄膜的厚度和材料光学参数。该仪器可用于各种环境,如实验室、工厂生产线及野外的实时测量。小光斑.png

       

    优势
    应用
    小光斑:测量光斑直径从 100 um到 500 μm
    测速快:单点测量时间小于 0.1秒
    精度高:反射率精度 0.3%,膜厚精度 0.2nm
    波长范围:350nm至1000nm,1000nm至1700nm
    小型便携:重量 2.5 公斤,USB 连接计算机,软件易学好用

    光学镀膜:镜片增透膜、高反膜、分光膜测量
    医疗器件:内窥镜镜片反射率、内聚对二甲苯保护层、医疗器表面涂层测量
    半导体制造:二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiN4)、ITO(氧化铟锡)、有机发光层、聚酰亚胺(PI)、光刻胶厚度测量
    太阳能电池:氮化硅减反射膜、氧化铝钝化层测量



    产品参数与手册

    产品手册:

    参       数技术指标
    测量内容
    反射率,膜层厚度及光学常数(n&k)
    光斑大小100 um,200 um, 300 um, 500 um
    膜厚范围15 nm 至100 μm,精度为 0.2 nm
    测量时间单点测量时间小于 0.1 秒
    光谱范围350nm至1000nm,1000nm至1700nm
    样品尺寸1 mm至100 mm
    仪器重量2.5公斤
    仪器尺寸29 x 23 x 22 cm
    数据处理USB 数据传输,配套软件 Spectra_Sensor及Film_Analyzer
    操作系统Windows 10及以上系统
    电源100-240 VAC,50160 Hz,0.4 A


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